半導体製造業界では、プロセスの微細化及びウエハーの大口径化に伴い、大規模化するデータの高速処理が非常に重要になってきています。こうした中、半導体メーカーでは、300mmラインの第一世代において、主に搬送系の自動化などで生産の効率化を計ってきましたが、第二世代においては装置の稼働率を向上させたり、装置の異常を予知あるいは即座に検出し不良品を生産しないようにすることが命題となっています。これを実現するには、ITを利用して装置のあらゆるデータを高速収集・分析、プロセス全体の状況を「見える化」し、タイムリーにフィードバックする必要があります。

　Starviewは、半導体製造装置・機器の稼働状況を分析し、生産性向上を図るAPC(アドバンスト・プロセス・コントロール)などのアプリケーションやEES（エキップメント・エンジニアリング・システム）を運用するためのプラットフォームとなるミドルウェア群です。装置・機器が排出する毎秒20万点もの大量のデータを高速に収集、管理し、各種アプリケーションの要求に応じて高速検索・処理することで、より的確でタイムリーな判断や制御が可能となり、その結果、生産ライン全体の生産性向上を実現します。

「Starview」の主な特長は以下の通りです。

なお、Starviewは5つのミドルウェア群によって構成されています。

今回のプレス発表にあたり、以下のコメントをいただいておりますのでご紹介します。

Starview Technology Inc. President&CEO　Thomas Sulzbacher