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SD1024シリーズ

半導体製造装置用 終点検出装置

Spectrograph SD1024G(TM)

Spectrograph SD1024G™

SD1024シリーズは、Verity Instruments, Inc.製 分光装置です。 エンドポイント(終点)検出システムに用いられ、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。

SD1024G/GHはCCDエリアセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます 。

SD1024GLはCCDラインセンサを搭載し、低コスト化を実現しています。SD1024シリーズ エントリーモデルとなります。

SD1024Gシリーズは装置制御用のPCが必要ですが、この制御用のPCを内蔵したSD1024Xシリーズもあります。 SD1024Gシリーズと同様にX/XHとXLがあります。

また、全モデル共通の制御アプリケーションであるSpectraView™はVerity社独自技術であるNeuralPCA™アルゴリズムを含む多様な終点検出アルゴリズム、フレキシブルなユーザー設定、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。

半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。




※ 詳細情報につきましては下記フォームにより担当部署までお問い合わせください。

動作環境

適用OS
  • Windows 2000 Professional
  • Windows XP Professional
  • Windows 7 Professional

*SpectraView™のバージョンにより対応するOSの種類は異なります。

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