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SP2100™

半導体製造装置用 膜厚測定装置

Spectral Reflectometer SP2100

Spectral Reflectometer SP2100™

SP2100™は、Verity Instruments, Inc.製の 膜厚計測装置です。in situもしくはin-lineでの膜厚計測を実現するために開発され、エッチャー、CMP、CVDのアプリケーションに使用されています。

SP2100™はキセノンランプによるパルス光源を使用した干渉法によりウエハー上の膜厚をリアルタイムに測定します。

また、SP2100™用制御アプリケーションであるSpectraView™はロバストな終点検出アルゴリズム、Verity社独自技術による膜厚測定アルゴリズム、ユーザーによる柔軟な設定環境、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。

半導体製造装置とのインタフェースもイーサネット/RS232C/デジタルI/Oに対応する多様なインタフェースを提供しています。


※ 詳細情報につきましては下記フォームにより担当部署までお問い合わせください。

動作環境

適用OS
  • Windows 2000 Professional
  • Windows XP Professional
  • Windows 7 Professional

* SpectraView™のバージョンにより対応するOSの種類が異なります。

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