ソリューション

SD1024シリーズ

更新

SD1024シリーズは半導体製造装置用の光学式のエンドポイント(終点)検出システムです。

システムの接続概略図

SD1024Gシリーズのシステム接続形態

SD1024Gスペクトロメーターは、ツール・コントローラーによって制御されている終点コンピューター(EPD Computer)にサポートされています。

SD1024Gの接続

SD1024Gシリーズの接続形態

SD1024Xシリーズのシステム接続形態

SD1024Xを使った場合では、EPD computer は必要なくなります。SD1024Xは直接ツール・コンピューターと通信することになるため、専用の終点コンピューターの必要性がなくなります。

SD1024Xの接続

SD1024Xシリーズの接続形態

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