ソリューション

SP2100™

更新

SP2100™ は半導体製造装置用の膜厚測定装置です。

SP2100™ 接続スキーム

SP2100システムはSD1024GとFL2100を組み合わせて使用します。下図に示すように、発光 / 受光を同時に行い、対象膜からの反射光を受光し、位相差を利用して膜厚測定を行います。

SP2100™ 接続スキーム

SP2100™ 接続スキーム

具体的な接続例

SD1024G/FL2100接続図

SD1024G/FL2100接続図

膜厚測定する場合、ファイバーはウエハーステージから垂直上に設置する必要があります。エッチング(SIP型、RIE型、ICP型等)、CVD、IBE装置等さまざまな装置に実績があります。

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